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              常見曝光機舉例

              目錄:常見問題點擊率:發布時間:2016-11-15 10:05:14

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                紫外燈電源系統

               

                操作控制器

               

                350W紫外燈

               

                MDA-400M參數:

               

                晶片臺

               

                基底尺寸 標準尺寸 最大至4英寸;可選最大至6英寸;

               

                托盤 標準尺寸 最大至4英寸;可選最大至6英寸;

               

                活動范圍

               

                X:10mm Y: 10mm Z : 10mm Theta: 4 degree

               

                對準精度 1um

               

                擠入補償 Air bearing型

               

                Z軸滑動 手動

               

                真空泵 無油真空泵

               

                掩膜臺

               

                掩膜夾具類型 真空吸附和機械夾取

               

                紫外光源

               

                紫外燈 350 瓦

               

                均勻光束大小 4.25“ X 4.25“

               

                曝光模式 壓縮/真空/相鄰

               

                曝光時間控制 可編程控制型

               

                曝光定時器 1 ~ 999.9 秒

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